>제품안내>SAM제품  
SAM-CYGNUS
LED, Wafer의 결함 측정용 최적화 초음파탐상장비
종류 :   SAM제품

LED, Wafer 검사용 장비로써 Wafer 이동 로봇이 설치
Wafer Map, 바코드리더, Wafer Pre Aligner, Spin Coater등의 시스템 장착
웨이퍼 결함 측정 및 용이한 검사 전후 처리
신속 정확한 고성능 스캔 시스템
워터젯 방식의 물 분사 시스템
3축 스캐너에 장착된 탐촉자의 자동스캔에 의한 결함검출
시그널 램프 및 안전 센서
A, C, T Scan

1. Ultrasonic Pulser/Receiver
Frequency Range : 1 - 500MHz
Low noise, high performance pulser/receiver derives the ultrasonic signal of ultra wide-bandwidth characteristics from the transducer.

2. A/D Converter
Real time 2GHz Sampling Rate

3. Wafer Transfer Robot
 
4"~6" Wafer
R-Axis 470mm
Z-Axis 200mm Stroke
Repeatability 0.05mm
1Kg Load Capacity

4. General
Scanning Area 4" x 6"
Repeatability +/-0.002 mm
Main Unit SIZE 1800mm X 1100mm X 1400mm
Weight Approx. 750kg
Power AC220V / 30A (1Phase)